作者:标准资料网 时间:2024-05-14 07:22:46   浏览:9395   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Harmonizedsystemofqualityassessmentforelectroniccomponents:basicspecification:scanningelectronmicroscopeinspectionofsemiconductordice
【原文标准名称】:电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验
【标准号】:BSCECC00013-1985
【标准状态】:作废
【国别】:英国
【发布日期】:1985-08-30
【实施或试行日期】:1985-08-30
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子设备及元件;检验;规范(验收);集成电路工艺;试验设备;试样制备;试验条件;抽样方法;无损检验;半导体器件;质量控制;半导体工艺;电子显微镜;统计质量控制;半导体;认可试验;质量保证体系;集成电路;显微分析
【英文主题词】:Approvaltesting;Assessedquality;Electronmicroscopes;Electronicequipmentandcomponents;Inspection;Integratedcircuittechnology;Integratedcircuits;Microscopicanalysis;Non-destructivetesting;Qualityassurancesystems;Qualitycontrol;Samplingmethods;Semiconductordevices;Semiconductortechnology;Semiconductors;Specification(approval);Specimenpreparation;Statisticalqualitycontrol;Testequipment;Testingconditions
【摘要】:DescribesequipmentandprocedurestobeusedforSEMinspectionofdiscretesemiconductordevicesandintegratedcircuits.
【中国标准分类号】:L10;L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_200
【页数】:28P;A4
【正文语种】:英语